講到這個話題，那么首先跟大家分享一下超純水的概念，純水是指下列雜質含量極低的水，具體要求有以下幾點

①無機電離雜質,如 Ca、Mg、Na、K、Fe2+、Fe3+、Mn、Al、HCO、CO、SO、Cl、NO、NO、SiO、PO等；

②有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等；

③顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；

④微生物,如細菌、浮游生物和藻類等；

⑤溶解氣體,如N2、O2、CO2、H2S等.超純水中電離雜質的含量用水的電阻率數值來衡量.理論上,純水中只有H離子和OH離子參加導電.在25℃時超純水的電阻率為 18.3（兆歐?厘米）,一般約為15～18（兆歐?厘米）.
超純水中有機物含量由測定有機物碳含量而定,電子工業超純水中規定含量為50～200微克/升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質每1毫升內含量為1～2個,微生物每1毫升為0～10個.現代采用預處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術等,使超純水的電阻率在25℃時達到18（兆歐?厘米）.
依各種原水水質和用戶要求的不同,超純水的制備工藝大體可分為預處理、脫鹽和精處理三步。

自然界中的水通常會含有多少量不等之不純物，此些不純物質包括溶存氣體物、固體物、及懸浮物等，因而不能直接飲用或作為工業用水，必須依使用的目的予以處理。 工業用水所引起的障礙，可分類如下：

(1) 生物腐蝕及其它腐蝕

(2) 污濁

(3) 引起化學反應而污染

使設施惡化方面：

(1) 腐蝕

(2) 侵蝕

(3) 起凸凹

減少效率方面：

(1) 結垢

(2)污泥的形成

(3)有機物的形成